4인치 6인치 세정 및 검사의뢰 건

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작성자 국준호 댓글 0건 조회 169,999회 작성일 23-03-21 13:05

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안녕하세요.
쏘닉스 설비기술 그룹 국준호입니다.

아래와 같이 의뢰하고자 합니다.

기판 : Si wafer (4", 6")
증착물질 : SiO2 300~400 Å
사용 용도 : Sputter 장비내 SiO2 증착 후 particle monitoring 용
귀사 의뢰 공정 : SiO2 막 제거 → 세정 → particle 측정 및 검사
Particle Spec : ≤0.3um 10EA 이하

견적 요청드립니다.
감사합니다.

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